隨著科技的飛速發展，半導體工廠對于自動化生產模式產生了迫切的需求。通過AMHS智能物流系統在各個工藝設備之間進行物料傳輸，不僅可以提高工廠的生產效率，還可以監控物料的狀態和每一片晶圓的生產過程，從而保證產品的品質。AMHS系統在半導體行業被廣泛應用，如半導體IC晶圓廠中使用的天車系統等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圓工廠難以實施，所以LED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態，效率較低，也無法滿足如Mini LED，Micro LED等高端產品的高品質要求。
福賽特自主研發的MOCVD AMHS智能物流系統，已經在行業頭部客戶處投入運行生產。該系統實現MOCVD工藝設備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數據記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過全自動生產的方式減少了人工參與造成的產品不良，降低了石墨盤的損耗從而提高了其使用壽命。
該系統主要分為倒片區設備和MOCVD工藝設備區設備。倒片區設備主要包括晶圓倒片機，電子貨架、倒片區定制AGV和AGV充電設備；MOCVD工藝設備區設備主要包括MOCVD工藝設備、MOCVD中轉單元、工藝設備區定制AGV和AGV充電設備。除MOCVD工藝設備外的其它所有設備均由上海福賽特機器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。
MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。
· AGV運載石墨盤根據調度系統指令自動在電子貨架、晶圓倒片機、MOCVD中轉單元之間對接；
· 電子貨架存儲石墨盤且與中控系統實時通訊并監控石墨盤狀態；
· 晶圓倒片機實現自動上下石墨盤、Pocket自動清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES；
·MOCVD中轉單元與MOCVD工藝設備無縫對接，實現自動上下石墨盤，收集MOCVD腔體狀態信息并與中控系統通訊；
·該系統上下片的節拍為425pcs/小時；產品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.05mm，±0.1度以內。
MOCVD AMHS 智能物流系統能夠大幅提升工藝設備的運行效率，顯著提升產品良率，是LED半導體高端制造的首選。福賽特將繼續深耕半導體設備行業，在已推出的PVD晶圓倒片機，PSS晶圓上下片機，MOCVD AMHS系統等獨家自主研發產品的基礎上，繼續加大研發力度，進一步優化交付和服務質量，成為中國領先的LED半導體AMHS設備提供商！
